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Fundamentals of Plasma Etching

9:00 am - 10:15 am

플라즈마 식각에 관련된 기초적인 아래와 같은 내용을 강의합니다. 

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Featured Speakers

Geun Young Yeom

Prof. Geun Young Yeom

Sungkyunkwan University

염근영은 1981년 한양대학교 학사, 1983 서울대학교 석사를 거쳐 1989년 일리노이 대학교 어배너-섐페인 (University of Illinois at Urbana-Champaign)에서 박사 학위를 받았습니다. 이후 1992.3부터 2023.2까지 성균관대학교 재료과학공학과 교수로 재직했으며, 현재 특훈교수로 재직 중입니다.

1984년 일리노이대학원 입학시부터 현재까지 플라즈마 에칭 및 증착과 관련된 플라즈마 공정연구를 진행하여 왔습니다. 특히, 지구온난화지수가 낮은 가스를 이용한 유전체 재료의 플라즈마 식각, 전이 금속 이칼코제나이드와 같은 2차원 재료 가공, 다양한 재료의 원자층식각, 저온식각, 등방성식각 등 차세대 플라즈마 에칭 공정에 대하여 연구를 진행하고 있습니다. 학회활동으로 한국재료연구학회, 한국진공학회, 한국표면과학공학회의 회장을 역임하였으며, 현재 한국반도체디스플레이기술학회 부회장으로 활동하고 있습니다.